費勉儀器推出了MBE-1000 Cluster分子束外延系統(tǒng)，可進行5×3''，4×4''，單片6'', 單片8''襯底外延生長。該系統(tǒng)可實現(xiàn)全自動傳樣和生長，非常適用于器件的批量生產(chǎn)。生長室采用雙溫區(qū)襯底加熱，實現(xiàn)生長溫度均勻可控。MBE-1000系統(tǒng)可定制10個蒸發(fā)源端口或12個蒸發(fā)源端口。
MBE-1000 Cluster全自動傳樣系統(tǒng)將不同腔體集成在圓形傳樣腔上，采用360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)的重載機械臂組件可進行10英寸襯底托盤在進樣室，預處理室，生長室和存儲腔之間傳遞。
根據(jù)客戶需求，費勉儀器提供不同型號的熱蒸發(fā)源、裂解源、電子束蒸發(fā)源和氣體源。系統(tǒng)可安裝RHEED、BFM、RGA等，實現(xiàn)對薄膜生長的原位監(jiān)控。系統(tǒng)可以搭配費勉儀器的MBE束流監(jiān)測光譜系統(tǒng)，實現(xiàn)可重復性和批量性的完全自動化生長。費勉儀器提供MBE操作軟件，包括生長工藝程序編寫、自動生長控制和不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能，可以執(zhí)行生長工藝程序控制擋板運動，源爐溫度，襯底溫度，襯底旋轉(zhuǎn)速度和方向?？刂栖浖囟惹€，真空壓力曲線，電源輸出功率曲線，各系統(tǒng)間傳樣等工藝需求功能。
| 配置 | MBE-1000 Cluster 分子束外延系統(tǒng) | |
| 生長室 | 腔體尺寸 | 960mm I.D. |
| 液氮冷屏 | 標配 | |
| 襯底加熱器最高溫度 | 1000℃ | |
| 襯底加熱器溫度穩(wěn)定性 | ±0.2℃ | |
| 襯底最大尺寸 | 8inch | |
| 襯底最大旋轉(zhuǎn)速度 | 40RPM | |
| 蒸發(fā)源配置 | 12XCF150 | |
| 獨立的蒸發(fā)源擋板 | 電機驅(qū)動 | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| RHEED | 15~30keV | |
| RGA | 0-200amu | |
| 預處理室 | 預處理加熱器最高溫度 | 600℃ |
| 儲存室 | 樣品停放臺 | 10個 |
| 進樣室 | 樣品停放臺 | 10個 |
| 紅外烘烤箱 | 選配 | |
| 傳樣室 | 傳樣法蘭 | 矩形法蘭 |
| 機械臂伸縮距離 | 1300mm | |
| MBE軟件 | GUIDE軟件 | 標配 |
| 選配 | 出樣室 | 選配 |
| CCD相機 | 選配 | |
| 手套箱 | 選配 | |
| 污染物回收系統(tǒng) | 選配 | |
| 二級磷回收系統(tǒng) | 選配 | |
| 真空照明系統(tǒng) | 選配 | |
| 泵車 | 選配 | |
| 原子吸收光譜束流監(jiān)測系統(tǒng)AAFM-3 | 選配 | |
| 襯底真實溫度監(jiān)控系統(tǒng)BTM-100 | 選配 | |
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