MBE-600 分子束外延系統(tǒng)

MBE-600系統(tǒng)非常適合III-V，II-VI的材料應(yīng)用，該系統(tǒng)可以對1、2和3英寸襯底進行外延，并且其垂直腔室設(shè)計以及各種先進組件可實現(xiàn)逐層精確的外延。

MBE-600的突出特點是系統(tǒng)的高可靠性、多功能性和緊湊性，這些功能使MBE-600系統(tǒng)特別適合研發(fā)應(yīng)用及準批量生產(chǎn)。MBE-600的標準版本包括10個源端口，其中7個法蘭尺寸為4.5英寸（DN63CF），3個法蘭尺寸為2.75英寸（DN35CF）。MBE-600的定制版本也涵蓋了特定的生產(chǎn)需求，例如超高真空解理鍍膜系統(tǒng)。

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根據(jù)我們所有客戶的要求，我們提供不同種類的普通蒸發(fā)源，帶閥的裂化器源，氣體源和電子束蒸發(fā)源。通過使用BFM，QCM，RHEED，RGA等，可以獲得系統(tǒng)原位表征。費勉的MBE軟件包括生長工藝程序編寫、自動生長控制和不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能?？梢詧?zhí)行生長工藝程序控制擋板運動，源爐溫度，襯底溫度，襯底旋轉(zhuǎn)速度和方向。保證最大的操作可重復(fù)性和安全性?？刂栖浖囟惹€，真空壓力曲線，電源輸出功率曲線，各系統(tǒng)間傳樣等工藝需求功能。

MBE-600 手動傳樣系統(tǒng)
	可以進行3inch襯底傳遞。費勉儀器將傳統(tǒng)的襯底轉(zhuǎn)移方法轉(zhuǎn)換為一個功能齊全的設(shè)備。該系統(tǒng)不僅可以提供水平線性運動進行襯底轉(zhuǎn)移，而且可以在垂直方向上提供高達25 mm的移動空間以進行上下運動來取出或放置襯底。該系統(tǒng)無需使用二次運動工具，降低了成本并極大地簡化了襯底傳輸技術(shù)。
MBE-600 Cluster 全自動傳樣系統(tǒng)
	可以輕松將襯底傳至各個腔室，而不會破壞MBE腔室真空度。Cluster Tool是安裝在UFO頂部或底部的機械臂組件，可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)，目的是在整個MBE系統(tǒng)中轉(zhuǎn)移襯底；搭配線性驅(qū)動裝置，實現(xiàn)垂直方向0~50mm自由運動，目的是放置和抓取襯底。機械臂末端可搭配3inch襯底抓取頭，最大負載可達1kg。機械臂通過高扭矩磁耦合驅(qū)動器驅(qū)動機械臂旋轉(zhuǎn)至所需真空腔體端口，定位基片安裝在機械臂前端上，以檢測機械臂在系統(tǒng)模塊內(nèi)移動襯底的過程。

	配置	MBE-600
生長室	腔體尺寸	450mm I.D.
	極限真空	<2×10^-10mbar
	液氮冷屏	標配
	冷屏通液氮后極限真空	<5×10^-11mbar
	襯底加熱器最高溫度	1000℃
	襯底加熱器溫度穩(wěn)定性	±0.5℃
	襯底最大尺寸	3inch
	襯底旋轉(zhuǎn)	60RPM
	蒸發(fā)源配置	CF35×3／CF63×7
	獨立的蒸發(fā)源擋板	電機驅(qū)動
	離子規(guī)	1×10^-3~2×10^-11mbar
	烘烤溫度	200℃
預(yù)處理	極限真空	<2×10^-10mbar
	預(yù)處理加熱器最高溫度	450℃
	離子規(guī)	1×10^-3~2×10^-11mbar
進樣室	極限真空	<1×10^-8mbar
	樣品停放臺	至少4+2
	紅外烘烤燈	選配
	全量程規(guī)	1×10³~5×10^-9mbar
傳樣室	極限真空	<5×10^-10mbar
	傳樣時壓力	<1×10^-9mbar
	手動/全自動	選配
	離子規(guī)	1×10^-3~2×10^-11mbar
	樣品停放臺	至少4+2
系統(tǒng)控制	觸摸屏操作面板	加配
	生長工藝程序編寫	加配
	自動生長控制	加配
	不間斷數(shù)據(jù)記錄	加配
	報警保護功能	加配
	聯(lián)鎖功能	加配
選配	CCD	選配
	手套箱	選配
	磷回收系統(tǒng)	選配
	襯底紅外測溫系統(tǒng)	選配
	真空照明系統(tǒng)	選配
	SMS	選配

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