<blockquote id="b6z1b"></blockquote>

您當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 工業(yè)MBE > 系統(tǒng)設(shè)備 > MBE800P分子束外延系統(tǒng) > MBE-800P 分子束外延系...

MBE-800P 分子束外延系統(tǒng)

這款研究應(yīng)用設(shè)備配備12個蒸發(fā)源安裝口，靈活適用于多種材料體系研究，能單次外延3片3inch或單片6inch襯底，具備簡潔友好的操作界面和模塊化維護(hù)設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊且節(jié)能高效，特別采用液氮冷屏和低功耗泵組，實現(xiàn)高性能與成本節(jié)約。

全國服務(wù)熱線

詳詢產(chǎn)品信息

+86-25-5888 3672

規(guī)格說明

配置	MBE-800P 分子束外延系統(tǒng)
生長室	腔體尺寸	650mm I.D.
	液氮冷屏	標(biāo)配
	襯底加熱器最高溫度	1000℃
	襯底加熱器溫度穩(wěn)定性	±0.2℃
	襯底最大尺寸	6inch
	襯底最大旋轉(zhuǎn)速度	60RPM
	蒸發(fā)源配置	12×CF100
	獨立的蒸發(fā)源擋板	電機驅(qū)動
	烘烤溫度	200℃
	RHEED	15~30keV
	RGA	0-200amu
預(yù)處理	預(yù)處理加熱器最高溫度	600℃
進(jìn)樣室	樣品停放臺	6個
進(jìn)樣室	紅外烘烤燈	選配
MBE軟件	GUIDE軟件	加配
選配	CCD相機	選配
	手套箱	選配
	污染物回收系統(tǒng)	選配
	真空照明系統(tǒng)	選配
	泵車	選配
	真空照明系統(tǒng)	選配
	原子吸收光譜束流監(jiān)測系統(tǒng)AAFM-3	選配
	襯底真實溫度監(jiān)控系統(tǒng)BTM-100	選配