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EN 021-6525 3206

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直線互聯(lián)系統(tǒng)

直線互聯(lián)系統(tǒng)與圓型傳樣系統(tǒng)互為補(bǔ)充,均可實(shí)現(xiàn)樣品在超高真空的環(huán)境下在不同系統(tǒng)間的傳遞,但是側(cè)重點(diǎn)略有不同。圓形傳樣系統(tǒng)相對較為緊湊,適合于小型實(shí)驗(yàn)室級別的互聯(lián)搭建;直線互聯(lián)系統(tǒng)單次傳遞的樣品尺寸和數(shù)量更多,適合于較大型的互聯(lián)搭建。同時(shí)圓形傳樣系統(tǒng)和直線傳樣系統(tǒng)也能實(shí)現(xiàn)互相搭配,例如圓形搭配直線,圓形搭配圓形,或者直線再擴(kuò)展。費(fèi)勉儀器已經(jīng)有豐富的設(shè)計(jì)和搭建經(jīng)驗(yàn)和案例供用戶參考。

費(fèi)勉儀器的直線互聯(lián)系統(tǒng)采用了自有知識產(chǎn)權(quán)(發(fā)明專利號:ZL201611011730.7), 能夠?qū)崿F(xiàn)傳輸小車自動(dòng)穿越法蘭接口和閘板閥,方便樣品長距離的馬達(dá)化傳輸。同時(shí)與現(xiàn)有的很多互聯(lián)系統(tǒng)不同,我們將小車的耦合裝置置于系統(tǒng)的底部,這樣的結(jié)構(gòu)更加方便樣品的觀察和操作同時(shí)節(jié)約了安裝空間,使系統(tǒng)也更加美觀。


規(guī)格說明
LDC1000
腔體內(nèi)徑150mm
系統(tǒng)對接法蘭NW63CF(可定制)
觀察口法蘭CF63 (可定制)
最小單元長度2米
最長長無限制
泵組搭配分子泵組,復(fù)合離子泵組(Ion+NEG)
樣品運(yùn)動(dòng)速度3 m/min
極限真空<3x 10-10 mbar
線性重復(fù)精度<0.1mm
最高烘烤溫度150℃


標(biāo)簽: 超高真空MBE
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