簡(jiǎn)易堿金屬源使用SAES堿金屬釋放劑，最多可同時(shí)安裝3條堿金屬釋放劑，獨(dú)立通道沉積。
無(wú)內(nèi)置擋板。
| ● 三條獨(dú)立堿金屬釋放劑 | ● 真空內(nèi)長(zhǎng)度可定制 |
簡(jiǎn)易 堿金屬源 | 模塊描述 | 配置參數(shù) |
| 型號(hào) | E38AM | |
| 尺寸 | 安裝法蘭 | DN38CF |
| 真空內(nèi)長(zhǎng)度 | 125mm | |
| 真空內(nèi)外徑 | 36mm | |
| 工作距離 | 10-200mm | |
| 其他 | 靶材 | SAES堿金屬釋放劑 |
| 工作電流 | 取決于所選釋放劑 | |
| 最高烘烤溫度 | 250℃ |
堿金屬條
FT=引腳長(zhǎng)度
A=有效長(zhǎng)度12mm
以上所有尺寸單位：mm
| 堿金屬材質(zhì) | 質(zhì)量（mg) | 起始蒸發(fā)電流（A） | |
| 平均值 | 標(biāo)準(zhǔn)偏差 | ||
| 銫 | 5.2 | 4.7 | 0.2 |
| 鉀 | 2.9 | 5.3 | 0.2 |
| 鈉 | 1.7 | 6.0 | 0.2 |
| 銣 | 4.5 | 5.3 | 0.2 |
| 鋰 | 0.8 | 7.3 | 0.2 |
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